特許
J-GLOBAL ID:201103071674183389

ダイシングソー用付属装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 中村 稔 (外9名)
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-268455
公開番号(公開出願番号):特開2001-244218
特許番号:特許第3316206号
出願日: 2000年09月05日
公開日(公表日): 2001年09月07日
請求項(抜粋):
【請求項1】 ハウジングと、前記ハウジング内に取り付けられたキャリッジと、前記キャリッジに結合したベローズと、前記ハウジング内の少なくとも1つの排水溝とを有するダイシングソー用付属装置において、前記ダイシングソーの作動中に、前記ハウジング内に落ちたデブリを自動的に収集するためのコレクターを備え、前記コレクターは、前記ベローズの上に取り付けられたベローズ保護カバーと、前記ハウジングに結合し、前記ダイシングソーの作動中に、前記ハウジングと、排水溝と、ベローズ保護カバーとからデブリを自動的に受取るように配置されたレセプタクルを備えることを特徴とする付属装置。
IPC (1件):
H01L 21/301
FI (1件):
H01L 21/78 F
引用特許:
出願人引用 (1件)

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