特許
J-GLOBAL ID：201103071718611758
圧電アクチュエータ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
梶 良之
, 須原 誠
, 木村 亨
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-080902
公開番号（公開出願番号）：特開2011-212865
出願日： 2010年03月31日
公開日（公表日）： 2011年10月27日
要約：
【課題】2種類の共通電極を有する圧電アクチュエータにおいて、各共通電極に電位のばらつきが生じるのを防止する。【解決手段】圧電アクチュエータ32においては、互いに積層された圧電層40〜42のうち圧電層40と圧電層41との間に配置された複数の第1共通電極43aは、第1共通配線43bにより互いに接続されている。第1共通配線43bは、4つの第1延在部43b1、及び、第1接続部43b2と対向するように形成されたスルーホール51、53により、それぞれ、圧電層40の下面及び圧電層42の上面に引き出されている。また、圧電層41と圧電層42との間に配置された複数の第2共通電極44aは、第2共通配線44bにより互いに接続されている。第2共通配線44bは、4つの第2延在部44b1、及び、第2接続部44b2と対向するように形成されたスルーホール54、55により、圧電層42の上面に引き出されている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
積層された複数の圧電層からなる圧電体と、
前記複数の圧電層のうちのいずれか2つの圧電層間に配置されており、所定の第1電位に保持される複数の第1共通電極と、
前記第1共通電極が配置された2つの圧電層間に配置されており、前記複数の第1共通電極と接続され、前記圧電体の面と平行な一方向に延在する複数の第1延在部と、前記複数の第1延在部同士を接続する接続部とを有する第1共通配線と、
前記複数の圧電層のうちのいずれか2つの圧電層間に配置されており、前記第1電位とは異なる第2電位に保持される複数の第2共通電極と、
前記第2共通電極が配置された2つの圧電層間に配置されており、前記複数の第2共通電極と接続され、前記一方向に延在する複数の第2延在部と、前記複数の第2延在部同士を接続する第2接続部とを有する第2共通配線と、
前記圧電層の積層方向から見て、その一部が前記第1共通電極と重なり、別の一部が前記第2共通電極と重なる複数の個別電極と、
前記圧電体の表面に配置されており、それぞれの電極と接続される複数の接続端子とを備え、前記複数の接続端子を介して前記それぞれの電極に電圧を付与する配線部材と電気的に接続される圧電アクチュエータであって、
前記第1共通配線と前記第2共通配線は、前記積層方向から見て、互いに重ならないように配置されており、
前記圧電層には、前記第1共通配線及び前記第2共通配線のうちの少なくとも一方の共通配線における、互いに離隔した複数箇所と対向する部分に複数のスルーホールが形成されており、
前記複数のスルーホールには、前記複数の第1延在部及び前記複数第2延在部のうち、前記少なくとも一方の共通電極を構成する複数の延在部と対向するものが含まれており、
前記第1共通電極と前記第2共通電極のうちの少なくとも一方の共通電極は、前記複数箇所において、前記少なくとも一方の共通配線及び前記複数のスルーホールにより前記圧電体の表面に引き出された上で前記接続端子に接続されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
IPC (4件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, H01L 41/09
, H01L 41/187
B41J3/04 103A
, H01L41/08 J
, H01L41/18 101D
, H01L41/08 L
2C057AF35
, 2C057AG92
, 2C057BA04
, 2C057BA14
