特許

J-GLOBAL ID：201103071729344875

感光性重合体組成物、パターンの製造法及び電子部品

発明者： 大江 匡之 ,  佐々木 守 ,  安斎 隆徳
出願人/特許権者： 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
代理人 (3件)： 酒井 宏明 ,  高田 幸彦 ,  竹ノ内 勝
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-309022
公開番号（公開出願番号）：特開2001-125263
特許番号：特許第4284787号
出願日： 1999年10月29日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 少なくとも片末端にo-キノンジアジド骨格を有する、ポリイミド前駆体又はポリベンゾオキサゾール前駆体を含有してなる感光性重合体組成物であって、前記ポリイミド前駆体又はポリベンゾオキサゾール前駆体が、一般式(1)、(2)又は(3) (式中、個々のRは独立にH、COOH又はCOOR’であり、R’は1価の有機基であり、個々のR1は独立に4価の有機基であり、個々のR2は独立にカルボキシル基又はフェノール性水酸基を有していてもよい2価の有機基であり、nは整数であり、個々のXは独立にo-キノンジアジド骨格を含む1価の有機基またはヒドロキシ基であり、個々のYは独立にo-キノンジアジド骨格を含む1価の有機基または水素原子である)で表されるものであることを特徴とする感光性重合体組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/023 ( 200 6.01) ,  G03F 7/40 ( 200 6.01) ,  H01L 21/027 ( 200 6.01)

FI (3件)：

G03F 7/023 501 ,  G03F 7/40 501 ,  H01L 21/30 502 R

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 化学線感応性組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-043704   出願人：東レ株式会社