流体圧制御装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：堀宏太郎 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-061990
公開番号（公開出願番号）：特開2000-259258
特許番号：特許第3502562号
出願日： 1999年03月09日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】流体圧制御装置本体の入口ポートと出口ポートとを連通する通路に給気弁が配設され、流体圧制御装置本体の一端にモータが配設され、モータと給気弁との間の位置に排気弁が配設され、モータの出力軸の回転動作がシャフトの直線動作に変換され、モータの出力軸によって排気弁及び給気弁が制御される流体圧制御装置において、シャフトの先端に排気弁の当接部が形成され、給気弁の弁体にステムが連結され、ステム内の連通路によりステムの先端の開口と二次圧室とが連通され、ステムの先端とシャフトの先端の当接部とにより排気弁が形成され、二次圧室と圧力センサとを連通させるフィードバック通路が形成されたことを特徴とする流体圧制御装置。

IPC (1件)：