特許

J-GLOBAL ID：201103072000499115

レーザ検査装置

発明者： 船岡 幸治 ,  笹井 浩之 ,  阪本 雅彦 ,  竹野 祥瑞
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (4件)： 高橋 省吾 ,  稲葉 忠彦 ,  村上 加奈子 ,  中鶴 一隆
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-205973
公開番号（公開出願番号）：特開2001-033220
特許番号：特許第3820806号
出願日： 1999年07月21日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 レーザ光を出力する光源と、 この光源から出力されるレーザ光を、XY方向に走査させて凹部の形成された基板上の所望の位置に照射する照射手段と、 上記レーザ光が照射された基板から発生する蛍光を検出し、第1の検出信号を出力する第1の検出手段と、 上記レーザ光が照射された基板の表面から発生し、上記レーザ光が照射された方向と異なる方向に向かう散乱された反射光を検出し、第2の検出信号を出力する第2の検出手段と、 登録された基板上の検査位置を始点として、上記基板に対して所定の間隔を直線的に上記照射手段を走査させた時の上記第1及び第2の検出信号とに基づき仮の中心点を算出し、上記仮の中心点を通り上記走査方向に対し垂直方向に上記照射手段を走査させたときの上記第1及び第2の検出信号に基づき上記検査対象を検査する制御手段とを備えることを特徴とするレーザ検査装置。

IPC (2件)：

G01B 11/00 ( 200 6.01) ,  G01N 21/956 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G01B 11/00 D ,  G01N 21/956 B

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 検査対象物の表面情報検知装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-039642   出願人：富士通株式会社
• 特開平4-250303
  
• 特開平4-250303