特許

J-GLOBAL ID：201103072046941610

収差補正装置を備えた荷電粒子線装置

発明者： 松谷 幸 ,  数森 啓悦
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (2件)： 井島 藤治 ,  鮫島 信重
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-354335
公開番号（公開出願番号）：特開2003-157785
特許番号：特許第3914750号
出願日： 2001年11月20日
公開日（公表日）： 2003年05月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 荷電粒子線の光路中に配置され、4段の静電型4極子と4段の静電型4極子に電圧を供給する電源と、中央の2段の静電型4極子の電位分布と相似な磁位分布を重畳させる2段の磁場型4極子と2段の磁場型4極子を励磁する電源とによりなり、色収差又は球面収差の少なくとも1つを補正する収差補正装置と、 プローブ電流を調整するための集束レンズと集束レンズの電源と、 集束レンズと収差補正装置との間に配置され、開き角制御レンズと開き角制御レンズの電源とによりなり、試料に入射するプローブの開き角を制御するための開き角制御装置と、 対物レンズと対物レンズの電源と、 光路の一部に設けられた対物絞りと、 加速電圧や作動距離やプローブ電流を変更する操作表示部と、 該操作表示部の操作又は設定に基づいて前記4段の静電型4極子に電圧を供給する電源と2段の磁場型4極子を励磁する電源と集束レンズの電源と開き角制御レンズの電源と対物レンズの電源とを制御する制御部と、 を有し、 加速電圧、又は作動距離、又はプローブ電流の少なくとも1つを変更した時、試料に入射するプローブの径を最小にするように、プローブの開き角を制御すると共に、前記収差補正装置の4段目の静電型4極子の倍率と前記対物レンズの倍率との合成倍率を変えるように制御可能に成したことを特徴とする収差補正装置を備えた荷電粒子線装置。

IPC (3件)：

H01J 37/153 ( 200 6.01) ,  H01J 37/04 ( 200 6.01) ,  H01J 37/28 ( 200 6.01)

FI (3件)：

H01J 37/153 B ,  H01J 37/04 A ,  H01J 37/28 B

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-289035
  
• 特開平1-236563
  
• 特開平1-159943
  
• 特開平3-134944