ポリゴンスキャナ測定装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：特許公告
出願番号（国際出願番号）：特願平1-306729
公開番号（公開出願番号）：特開平3-167439
出願日： 1989年11月28日
公開日（公表日）： 1991年07月19日
請求項（抜粋）：

【請求項1】第1のレーザ光源(2)から出射されたレーザビーム(L5)を回転しているポリゴンミラー(1)に入射し、その反射されたレーザビーム(L6)を第1のシリンドリカルレンズ(12)を通して、通過後のレーザビームの位置を検出する第1の位置検出器(10)に入射し、更に第2のレーザ光源(3)から出射されたレーザビーム(L1)は第1のハーフミラー(6)を通過させ、その通過したレーザビーム(L2)をポリゴンミラー(1)に入射し、その反射されたレーザビーム(L3)を前記第1のハーフミラー(6)に入射し、その反射光(L4)を第1のトリガ発生器(7)に入射する構成の第1の動的面出入り測定装置と、第3のレーザ光源(4)から出射されたレーザビーム(L10)を、前記回転しているポリゴンミラー(1)に入射し、その反射されたレーザビーム(L11)を第2のシリンドリカルレンズ(13)を通して、通過後のレーザビーム位置を検出する第2の位置検出器(11)に入射し、更に第4のレーザ光源(5)から出射されたレーザビーム(L7)は第2のハーフミラー(8)を通過させ、その通過したレーザビーム(L8)をポリゴンミラー(1)に入射し、その反射されたレーザビーム(L9)を前記第2のハーフミラー(8)に入射し、その反射光(L12)を第2のトリガ発生器(9)に入射する構成の第2の動的面出入り測定装置と、でなることを特徴とするポリゴンスキャナ測定装置。

IPC (2件)：

G01M 11/00 M 9309-2G , G02B 26/10 102

前のページに戻る