特許
J-GLOBAL ID：201103072165793557
回転テーブル駆動方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
曾我 道照
, 曾我 道治
, 池谷 豊
, 古川 秀利
, 鈴木 憲七
, 梶並 順
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-309998
公開番号（公開出願番号）：特開2003-117776
特許番号：特許第3976537号
出願日： 2001年10月05日
公開日（公表日）： 2003年04月23日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基台(1A)に設けられたサーボモータ(5)により回転すると共にその上部に被検査体(6)を載置するための回転テーブル(3)と、前記回転テーブル(3)に設けられたコネクタ(7)と、前記回転テーブル(3)を支持するためのガラスエポキシ積層管(2)と、前記ガラスエポキシ積層管(2)の下部に中継板(3A)を介して接続された筒状の回転軸(4)と、前記回転軸(4)を駆動するためのサーボモータ(5)と、前記コネクタ(7)に接続され前記ガラスエポキシ積層管(2)内に形成された案内孔(9)内に案内されると共に前記中継板(3A)の外側を経て前記回転軸(4)内に案内された信号ケーブル(8)と、前記サーボモータ(5)の回転を制御するための制御器(12)と、を用い、
前記回転テーブル(3)と前記中継板(3A)との間の前記ガラスエポキシ積層管(2)が恒温槽底部(21)を貫通して位置することにより、前記回転テーブル(3)が前記恒温槽底部(21)上に位置し、前記制御器(12)にコマンド(20)を送ることにより前記回転テーブル(3)の回転を前記サーボモータ(5)により制御すると共に、前記回転テーブル(3)の1回転内で移動する位置を前記コマンド(20)によって所定の角度毎に設定することを特徴とする回転テーブル駆動方法。
IPC (1件)：
FI (2件)：
B23Q 16/02 A
, B23Q 16/02 C
