X線分析装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：杉本修司 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-281418
公開番号（公開出願番号）：特開2001-099793
特許番号：特許第3443047号
出願日： 1999年10月01日
公開日（公表日）： 2001年04月13日
請求項（抜粋）：

【請求項1】試料が載置される試料台と、試料に1次X線を照射するX線源と、試料から発生する蛍光X線を分光する分光素子と、その分光素子で分光された蛍光X線が入射され、蛍光X線のエネルギーに応じた電圧のパルスを強度に応じた数だけ発生する検出器と、前記分光素子で分光される蛍光X線の波長を変えながら、その分光された蛍光X線が前記検出器に入射するように、前記分光素子と検出器を連動させて連続的に走査させる連動手段と、前記検出器で発生したパルスのうち所定の電圧の範囲のものを選別する波高分析器と、その波高分析器で選別されたパルスの計数値を求めるスケーラと、そのスケーラでパルスを計数するのに要した計数時間を測定する計数時間カウンタと、前記連動手段における所定の走査区間ごとに、読み出し指令を発する分周器と、その分周器からの読み出し指令を受けて、前記スケーラで求めた計数値および前記計数時間カウンタで測定した計数時間を読み出し、計数値を計数時間に基づいて補正する補正演算手段とを備えた蛍光X線分析装置。

IPC (2件)：

G01N 23/223 , G01N 23/20

FI (2件)：

G01N 23/223 , G01N 23/20

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開昭54-163095
特開昭60-192245
特開平4-216446

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