特許

J-GLOBAL ID：201103072525776683

エアーカーテン付き低露点作業装置及びエアーカーテン付き低露点作業設備

発明者： 大田 睦夫 ,  小田 建一
出願人/特許権者： 高砂熱学工業株式会社
代理人 (4件)： 遠山 勉 ,  松倉 秀実 ,  永田 豊 ,  川口 嘉之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-031446
公開番号（公開出願番号）：特開2000-230735
特許番号：特許第4377469号
出願日： 1999年02月09日
公開日（公表日）： 2000年08月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 作業台の上方空間を囲む作業室と、 この作業室内に清浄な低露点空気を供給する給気手段と、 作業室内を負圧に保持するための排気手段と、 作業室の前面に前後に間隔をおいて配置した前板及び後板を含む吹き出し空気流路兼用の二重透明板と、 この二重透明板の下部吹き出し口と前記作業台との間に形成した作業用開口部とを備え、 二重透明板の吹き出し口から空気を吹き出すことにより前記作業用開口部付近にエアーカーテンを形成して作業室を遮蔽する構成としたエアーカーテン付き低露点作業装置であって、前記二重透明板を構成する前板及び後板のうち、前板の下端縁を後板の下端縁よりも上方に位置させることで、前記エアーカーテンの空気の吹き出し方向を外向きに35度から55度の範囲に傾斜させた、エアーカーテン付き低露点作業装置。

IPC (3件)：

F24F 7/06 ( 200 6.01) ,  F24F 9/00 ( 200 6.01) ,  B01L 1/00 ( 200 6.01)

FI (3件)：

F24F 7/06 C ,  F24F 9/00 M ,  B01L 1/00 B

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平1-266857
  
• 特開平4-254126
  
• 特開昭57-157945
  
• 特公昭54-034959