特許

J-GLOBAL ID：201103072624885842

光ディスク基板用スタンパーおよびその製造方法

発明者： 小西 正人
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (4件)： 宮崎 昭夫 ,  金田 暢之 ,  伊藤 克博 ,  石橋 政幸
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-313892
公開番号（公開出願番号）：特開2003-123338
特許番号：特許第3787515号
出願日： 2001年10月11日
公開日（公表日）： 2003年04月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 ガラス原盤にフォトレジストを塗布して作製したフォトレジスト原盤に光ビームを用いて記録パターンを露光する工程A、露光したフォトレジスト原盤を現像してガラスマスター原盤を作製する工程B、ガラスマスター原盤から2P樹脂を用いて表面のランド/グルーブ形状を転写して2Pマスター原盤を作製する工程C、2Pマスター原盤に剥離層を形成して剥離層形成2Pマスター原盤を作製する工程D、剥離層形成2Pマスター原盤から2P樹脂を用いて表面のランド/グルーブ形状を転写し2Pマザー原盤を作製する工程E、2Pマザー原盤表面に導電層を形成し導電層形成2Pマザー原盤を作製する工程F、および、導電層形成2Pマザー原盤から電鋳によって表面のランド/グルーブ形状を転写し金属スタンパーを作製する工程Gを有する光ディスク基板用スタンパーの製造方法において、工程Dの剥離層形成条件または工程Fの導電層形成条件を調節することにより、金属スタンパーの表面のランド/グルーブ形状を調節することを特徴とする光ディスク基板用スタンパーの製造方法。

IPC (4件)：

G11B 11/105 ( 200 6.01) ,  B29C 33/38 ( 200 6.01) ,  G11B 7/24 ( 200 6.01) ,  G11B 7/26 ( 200 6.01)

FI (8件)：

G11B 11/105 546 D ,  G11B 11/105 501 A ,  G11B 11/105 516 K ,  G11B 11/105 521 F ,  B29C 33/38 ,  G11B 7/24 561 P ,  G11B 7/26 501 ,  G11B 7/26 511