特許
J-GLOBAL ID：201103072756315255
走査形トンネル顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：特許公告
出願番号（国際出願番号）：特願平1-176920
公開番号（公開出願番号）：特開平3-041304
出願日： 1989年07月07日
公開日（公表日）： 1991年02月21日
請求項（抜粋）：
【請求項1】探針を保持する駆動ユニットと、試料を保持する試料ステージと、前記駆動ユニットと前記試料ステージとが載置された基台と、前記駆動ユニットが試料に向かう力を受けるように該駆動ユニットに弾性力を及ぼすための手段と、該駆動ユニットを該弾性力に抗して停止させるため前記基台に設けられたストッパーと、前記駆動ユニットとの係合機構をその先端に有する移動棒と、前記駆動ユニットを前記ストッパーによる停止位置とこの位置から離れた位置との間で移動させるため前記移動棒を試料側の設定位置と試料から離れた位置との間で移動させるための手段とを備え、前記駆動ユニットが前記停止位置に位置している場合には、前記移動棒先端と駆動ユニット側係合部との間に間隔があいて両者間が非接触になるように前記設定位置と係合機構が選択されている走査形トンネル顕微鏡。
IPC (3件)：
G01B 7/34 Z 9106-2F
, G01B 21/30 Z 9106-2F
, H01J 37/28
