特許

J-GLOBAL ID：201103072898095899

ヘリウムリークディテクタ

発明者： 落合 英二郎 ,  前田 章弘 ,  松本 善和 ,  瀬戸 規正
出願人/特許権者： 株式会社アルバック
代理人 (4件)： 清水 善廣 ,  阿部 伸一 ,  辻田 幸史 ,  町田 悦夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-044892
公開番号（公開出願番号）：特開2002-243574
特許番号：特許第4369628号
出願日： 2001年02月21日
公開日（公表日）： 2002年08月28日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ヘリウムリークディテクタの本体を密閉性のあるカバーで覆い、該カバーに、該カバーの外部周辺の空気と異なる成分の気体を該本体と該カバーの間の空間へ導入する導入管を設け、該空間の圧力を該外部周辺の空気の圧力よりも高い圧力に調整する昇圧手段を設けたことを特徴とするヘリウムリークディテクタ。

IPC (1件)：

G01M 3/20 ( 200 6.01)

FI (1件)：

G01M 3/20 B