特許

J-GLOBAL ID：201103072906728880

固体撮像装置

発明者： 飯塚 哲也 ,  米本 和也 ,  山村 道男 ,  神戸 秀夫 ,  阿部 秀司 ,  眞野 三千雄 ,  山岸 万千雄
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-077733
公開番号（公開出願番号）：特開2001-298182
特許番号：特許第3570385号
出願日： 2001年03月19日
公開日（公表日）： 2001年10月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】信号電荷を転送する転送用レジスタと、前記転送用レジスタによって転送されてきた信号電荷を検出して出力信号を導出する不純物拡散層と、前記不純物拡散層の信号電荷をリセットするリセット用トランジスタとを具備し、前記転送用レジスタのゲート絶縁膜が窒化膜を含む多層構造の第1の絶縁膜からなり、前記リセット用トランジスタのゲート絶縁膜が窒化膜を含まない第2の絶縁膜からなり、前記第1の絶縁膜と前記第2の絶縁膜の境界が前記不純物拡散層上に位置することを特徴とする固体撮像装置。

IPC (3件)：

H01L 21/339 ,  H01L 27/148 ,  H01L 29/762

FI (2件)：

H01L 29/76 301 C ,  H01L 27/14 B

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開平2-220450
  
• 特開昭64-013762