特許
J-GLOBAL ID：201103072917391127
ピラニ真空計の圧力測定回路
出願人/特許権者：
株式会社アルバック
株式会社アルバック について
代理人 (2件)： 石島 茂男 , 阿部 英樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-306353
公開番号（公開出願番号）：特開2001-124651
特許番号：特許第4246332号
出願日： 1999年10月28日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ピラニ真空計のフィラメントを含む直列回路の中に含まれる第一の出力端子と、抵抗の直列回路中に含まれた第二、第三の出力端子とを有し、前記第三の出力端子には、前記第二の出力端子よりも高電圧が出力される抵抗ブリッジ回路と、
前記フィラメントに生じる電圧が大きくなると出力電圧が小さくなり、前記フィラメントに生じる電圧が小さくなると出力電圧が大きくなるように、反転入力端子と非反転入力端子が前記抵抗ブリッジ回路の前記第一、第二の出力端子にそれぞれ接続された第1の増幅器とを有し、
前記第1の増幅器の出力電圧の大きさに応じた電圧が、前記抵抗ブリッジ回路に印加されるように構成された圧力測定回路であって、
非反転入力端子と反転入力端子が前記抵抗ブリッジ回路の前記第一、第三の出力端子に接続され、前記ブリッジ回路から入力される電圧を増幅し、前記フィラメントの断線前は前記第1の増幅器の出力電圧よりも低い電圧を出力し、前記フィラメントの断線後は、前記第1の増幅器の出力電圧よりも大きな異常状態電圧を出力する第2の増幅器が設けられ、前記異常状態電圧を検出して前記フィラメントの断線を検知できるように構成された圧力測定回路。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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