特許
J-GLOBAL ID：201103072944685868
レーザを用いた成分分析方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
鈴江 武彦
, 村松 貞男
, 坪井 淳
, 橋本 良郎
, 河野 哲
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-175665
公開番号（公開出願番号）：特開2001-349832
特許番号：特許第3660938号
出願日： 2000年06月12日
公開日（公表日）： 2001年12月21日
請求項（抜粋）：
【請求項1】レーザ光を測定対象物に照射し、測定対象物に含まれる成分をプラズマ化させ、各成分元素からの発光ラインに関し、発光に起因する上位準位エネルギに対応した遅れ時間および計測時間をそれぞれ設定し、設定した遅れ時間および計測時間と測定対象物に含まれる複数の成分原子の比とを用いて、測定対象物中の各成分の濃度をそれぞれ計測するレーザを用いた成分分析方法において、測定対象物に含まれる化学種Aの発光に起因する上位準位エネルギをXa、測定対象物に含まれる化学種Bの発光に起因する上位準位エネルギをXb、但しXa>Xbの関係にあり、レーザ照射から化学種Aの発光を検出するまでの遅れ時間Da、化学種Aの発光を計測する計測時間Ma、レーザ照射から化学種Bの発光を検出するまでの遅れ時間Db、化学種Bの発光を計測する計測時間Mbとした場合に、 Db/Da=k・(Xa/Xb)が成り立つ関係において、係数kが1〜5の範囲となるように前記遅れ時間Da,Dbをそれぞれ個別に設定し、かつ、Ma>DaおよびMb>Dbの範囲となるように計測時間Ma,Mbをそれぞれ個別に設定することを特徴とするレーザを用いた成分分析方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/63 Z
, G01N 21/71
