処理装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：浅井章弘
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-286098
公開番号（公開出願番号）：特開2001-110873
特許番号：特許第4389305号
出願日： 1999年10月06日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】被処理体に対して所定の処理を施すための複数の処理室と、前記複数の処理室の搬出入口に共通に連結された共通搬送室と、この共通搬送室内に設けられて前記各処理室との間で前記被処理体を保持して搬送すべく旋回及び屈伸可能になされた搬送機構とよりなる処理装置において、前記共通搬送室内に、前記各処理室の搬出入口に対応させて前記被処理体を一時的に待機させる待機位置を設け、前記待機位置に対応させて前記被処理体の周辺輪郭の位置を検出するための一対のセンサ手段を、隣接する待機位置の一部のセンサ手段と共用するように設け、前記センサ手段の検出値に基づいて前記搬送機構に保持される前記被処理体の位置ズレを求めてこの位置ズレを補正するように前記搬送機構を制御する制御手段を設けたことを特徴とする処理装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ( 200 6.01) , G01B 11/00 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01L 21/68 F , G01B 11/00 A

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