特許

J-GLOBAL ID：201103073039763517

渦流量計

発明者： 岸 敏彦
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-262943
公開番号（公開出願番号）：特開2011-106989
出願日： 2009年11月18日
公開日（公表日）： 2011年06月02日
要約：

【課題】渦流量計の耐振性を向上させる渦流量計を実現する。【解決手段】管路本体に取り付けられたケースを具備し、カルマン渦による交番圧力の変動を渦発生体に設けられた応力検出素子で検出して流速流量を測定する渦流量計において、前記ケースに設けられXYZ軸方向のケース振動のノイズをそれぞれ検出する3軸ジャイロと、この3軸ジャイロで検出された振動信号に基づきこのジャイロ検出振動信号と逆位相の振動信号を出力する振動制御回路と、前記3軸ジャイロのケースに前記XYZ軸に直交してそれぞれ一方の面が設けられ前記振動制御回路からの信号に基づき前記ジャイロ検出振動信号を打ち消す振動を発生する圧電アクチュエータと、この圧電アクチュエータの他方の面にそれぞれ一面が設けられた付加質量とを有する振動検出発生ユニットを具備したことを特徴とする渦流量計である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

管路本体に取り付けられたケースを具備し、カルマン渦による交番圧力の変動を渦発生体に設けられた応力検出素子で検出して流速流量を測定する渦流量計において、 前記ケースに設けられXYZ軸方向のケース振動のノイズをそれぞれ検出する3軸ジャイロと、 この3軸ジャイロで検出された振動信号に基づきこのジャイロ検出振動信号と逆位相の振動信号を出力する振動制御回路と、 前記3軸ジャイロのケースに前記XYZ軸に直交してそれぞれ一方の面が設けられ前記振動制御回路からの信号に基づき前記ジャイロ検出振動信号を打ち消す振動を発生する圧電アクチュエータと、 この圧電アクチュエータの他方の面にそれぞれ一面が設けられた付加質量と を有する振動検出発生ユニット を具備したことを特徴とする渦流量計。

IPC (3件)：

G01F 1/32 ,  G01F 1/00 ,  F16F 15/02

FI (3件)：

G01F1/32 L ,  G01F1/00 G ,  F16F15/02 A

Fターム (7件)：

2F030CB10 ,  2F030CF20 ,  3J048AB12 ,  3J048AC07 ,  3J048AD03 ,  3J048BF13 ,  3J048DA06

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 渦流量計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-131124   出願人：横河電機株式会社
• 渦流量計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-063031   出願人：横河電機株式会社