樹脂組成物の塗布方法および塗布装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石井和郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-002771
公開番号（公開出願番号）：特開2001-191003
特許番号：特許第4312914号
出願日： 2000年01月11日
公開日（公表日）： 2001年07月17日
請求項（抜粋）：

【請求項1】樹脂組成物を吐出するノズル、およびその前方にノズル先端と間隔を隔てて設けられ、ノズルから吐出される樹脂組成物を案内する開口を有するマスクを具備する塗布装置を用いて樹脂組成物を基板表面に塗布する方法であって、前記マスクを基板表面に接触させて前記ノズルから吐出させた樹脂組成物を前記開口を通して基板表面に塗布し、樹脂組成物を基板表面に塗布した後、前記マスクを回転させながら前記ノズルを基板表面から遠ざけることを特徴とする樹脂組成物の塗布方法。

IPC (3件)：