積層型圧電アクチュエータ

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-321071
公開番号（公開出願番号）：特開2001-144340
特許番号：特許第3881484号
出願日： 1999年11月11日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】厚み0.05〜0.25mmの複数の圧電体と複数の内部電極とを交互に積層してなる積層体と、該積層体の積層方向の両端面に設けられたセラミック体とを具備するとともに、前記積層体を、同一厚みの圧電体を積層してなる積層体中央部と、該積層体中央部の両側に形成されそれぞれ圧電体を6〜12層積層してなる応力緩和部とから構成し、該応力緩和部における複数の圧電体が同一厚みであり、かつ、前記積層体中央部の圧電体の厚みの2倍の厚みを有することを特徴とする積層型圧電アクチュエータ。

IPC (3件)：

H01L 41/083 ( 200 6.01) , B23Q 5/28 ( 200 6.01) , F02M 51/06 ( 200 6.01)

FI (3件)：

H01L 41/08 S , B23Q 5/28 C , F02M 51/06 N

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭60-086880
特開昭60-086880
特開昭60-086880

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