特許
J-GLOBAL ID：201103073392845640
カーボンナノチューブ製造方法及び製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 興作
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-015962
公開番号（公開出願番号）：特開2005-206432
特許番号：特許第3837568号
出願日： 2004年01月23日
公開日（公表日）： 2005年08月04日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 カーボンナノチューブ製造方法であって、
各々が離間している複数の微小振動カンチレバーを含む反応領域に反応ガスを流し前記微小振動カンチレバー間で橋を架けるようにカーボンナノチューブを生成・成長させる成長ステップと、
検知手段を使用して、前記複数の微小振動カンチレバーのうちの少なくとも1つの振動の変化を計測する計測ステップと、
前記計測した振動変化に基づき、生成・成長するカーボンナノチューブの本数を制御する成長制御ステップと、
を含むカーボンナノチューブ製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用文献：
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