特許

J-GLOBAL ID：201103073544574109

化学増幅型ポジ型レジスト組成物

発明者： 上谷 保則 ,  釜淵 明
出願人/特許権者： 住友化学株式会社
代理人 (1件)： 久保山 隆
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-028895
公開番号（公開出願番号）：特開2000-227658
特許番号：特許第3785846号
出願日： 1999年02月05日
公開日（公表日）： 2000年08月15日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ヒドロキシスチレンの重合単位、メタクリル酸3-ヒドロキシ-1-アダマンチルの重合単位及び酸に不安定な基を持つ重合単位を有し、それ自身はアルカリに不溶又は難溶であるが、上記酸に不安定な基が酸の作用により解裂した後はアルカリに可溶となる樹脂、並びに酸発生剤を含有することを特徴とする化学増幅型ポジ型レジスト組成物。

IPC (2件)：

G03F 7/039 ( 200 6.01) ,  H01L 21/027 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R