特許

J-GLOBAL ID：201103073582382914

描画装置用導電性基体

発明者： 三嶋 和彦 ,  阿多利 仁
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-196313
公開番号（公開出願番号）：特開平3-060014
特許番号：特許第2753865号
出願日： 1989年07月27日
公開日（公表日）： 1991年03月15日
請求項（抜粋）：

【請求項1】アルミニウム化合物が0.1〜10重量%、II a族元素とIII a族元素の化合物の1種以上が0.1〜10重量%、導電性付与剤が0.5〜10重量%、残部が炭化けい素(SiC)からなる導電性SiC質焼結体であって、この焼結体中に含まれる不可避不純物のうちFeの含有量が300ppm以下であり、且つ該焼結体表面の平面度が5μm以下であることを特徴とする描画装置用導電性基体。

IPC (1件)：

H01L 21/027

FI (2件)：

H01L 21/30 541 L ,  H01L 21/30 502 Z