特許

J-GLOBAL ID：201103073779880347

化学センサ及び検出方法

発明者： 加藤 樹理
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-052822
公開番号（公開出願番号）：特開2011-185818
出願日： 2010年03月10日
公開日（公表日）： 2011年09月22日
要約：

【課題】感応膜からイオンや汚染物質が侵入したとしても、チャネルのコンダクタンスの低下やチャネルの電流値の不安定化を抑制できるようにする。【解決手段】化学センサは、ドレイン領域とソース領域との間にボディ領域が形成された半導体層と、ボディ領域の上面側に形成された感応膜と、ボディ領域の下面側に形成されたゲート絶縁膜と、ゲート絶縁膜の下面側に形成されたゲート電極と、を具備する。半導体層は、ボディ領域が完全空乏化する不純物濃度と膜厚で形成される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ドレイン領域とソース領域との間にボディ領域が形成された半導体層と、 前記ボディ領域の上面側に形成された感応膜と、 前記ボディ領域の下面側に形成されたゲート絶縁膜と、 前記ゲート絶縁膜の下面側に形成されたゲート電極と、 を具備する化学センサ。

IPC (1件)：

G01N 27/414

FI (4件)：

G01N27/30 301U ,  G01N27/30 301E ,  G01N27/30 301G ,  G01N27/30 301K