特許
J-GLOBAL ID:201103073879431000

光学式位置測定装置用走査ユニット

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 江崎 光史 ,  三原 恒男 ,  鍛冶澤 實
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-581061
特許番号:特許第4580136号
出願日: 2001年04月14日
請求項(抜粋):
【請求項1】 共通の支持基盤上において、検出器列が第一方向に互いに隣接して配列された複数の受光用検出器エレメントを持ち、この検出器列を少なくとも一つ有する検出器配列から構成され、 その際、検出面には、複数の受光用検出器エレメントを持つ第二検出器列が、第一方向に垂直な第二方向に対して、第一検出器列に隣接して配列されており、 そして、第二検出器列の検出器エレメントが、第一方向に対して同様に互いに隣接して配列されており、 さらに、第二検出器列の検出器エレメントが、第一検出器列の検出器エレメントと比較して、第一方向に対して幾何学的な規定のずれを有している、 検出面における周期的な縞模様を走査するための光学式位置測定装置用走査ユニットにおいて、 検出器エレメント(D)が、各検出器列(A1〜A6)内に等しい長さの間隔(PDET)で周期的に配列されており、その際各検出器列(A1〜A6)内にn個の連続して配列された検出器エレメント(D)が、n個の位相のずれた走査信号を生成することを特徴とする走査ユニット。
IPC (1件):
G01D 5/36 ( 200 6.01)
FI (2件):
G01D 5/36 T ,  G01D 5/36 K
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • 特開昭62-274217
審査官引用 (1件)
  • 特開昭62-274217

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