特許
J-GLOBAL ID：201103074026517246
特にガスレーザーのX線-前期電離のためのプラズマX線管、および電子銃としての用途
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富村 潔
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-504095
特許番号：特許第2750348号
出願日： 1989年04月07日
請求項（抜粋）：
【請求項1】高い電子流密度の電子線(EW)を発生し、かつ電子線をプラズマX線管のX線ターゲット(1)におけるX線放射(X)に変換するためのプラズマX線管(ER)において、a)互いに間隔をおいて向かい合う2つの保持壁、陰極壁(g1)および少なくとも内面が金属のターゲット保持壁(g2)、を有しまた保持壁(g1、g2)を完全なケースとして完成させる側面の結合壁(g3......g6)を有する気密ケース(G)を含んでおり、b)真空圧力下にある電離可能なガスまたはガス混合物から成る作動ガスでケース(G)中を充満されており、c)ケース(G)の内部に中空陰極Kとして構成されており、プラズマ空間(3)を部分的に包囲しており、また少なくとも2つの壁突起(k1、k2)を設けられている陰極ベース(k0)を、中空陰極(K)がその開いた側(k3)およびその陰極ベース(k0)をターゲット保持壁(g2)のほうに向けるように有しており、また中空陰極(K)からイオンボンバートによりたたき出された二次電子(e′)に対する加速陰極を形成するように中空陰極(K)に高い負の高電圧電位が接続されている金属の壁構造を含んでおり、d)陰極ベース(k0)の突起のなかに位置しており中空陰極(K)から出発する電子線(E)に曝されているターゲット保持壁(g2)の面範囲を覆っているX線ターゲット(1)を含んでおり、e)ターゲット保持壁(g2)の部分を形成しており中空陰極(K)と共同してプラズマ空間(3)をその他のケース内部空間(4)に対してシールドする追加的なプラズマ空間境界手段(g21、g22)を含んでおり、その際にプラズマ空間(3)はその他のケース内部空間(4)と中空陰極-ターゲット保持壁間の安全間隔(a3)により条件付けられ間隙(a3)を介して連通しており、f)プラズマ空間(3)のなかに突出している細いワイヤーの形態の少なくとも1つの点弧電極(11)を含んでおり、この点弧電極に中空陰極(K)とケース(G)の金属内面とに対して相対的に正の電位がプラズマ空間(3)のなかのグロー放電を開始する開始電荷担体雲の発生のために印加され得ることを特徴とするプラズマX線管。
IPC (4件)：
H01J 37/077
, H01J 3/02
, H01J 35/22
, H01S 3/09
H01J 37/077
, H01J 3/02
, H01J 35/22
, H01S 3/09
