特許

J-GLOBAL ID：201103074155099132

センサの測定用アパーチャーよりも大きなターゲットの評価に用いる装置及び方法

発明者： ダニエル・アール・ニール ,  ロン・アール・ラメージ ,  ダレル・ジェイ・アームストロング ,  ウィリアム・ティ・ターナー ,  ジャスティン・ディ・マンセル
出願人/特許権者： エイエムオー・ウェーブフロント・サイエンシーズ・リミテッド・ライアビリティ・カンパニー
代理人 (2件)： 青山 葆 ,  石井 久夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-508019
特許番号：特許第4647867号
出願日： 2000年06月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 多数のサブ領域を有するターゲットからの波面の再構成方法であって、 a)ターゲットの一のサブ領域に光照射する工程と、 b)該一のサブ領域からの光をスポット発生器に導く工程と、 c)上記スポット発生器からの光の焦点の位置を検出する工程と、 d)検出した焦点の位置に基いてサブ領域からの波面を決定する工程と、 e)隣接するサブ領域に対して該一のサブ領域とオーバーラップするように光照射してオーバーラップ領域を形成しながら、すべてのサブ領域について、工程a)からd)を繰返す工程と、 f)工程d)で決定した波面をオーバーラップ領域の波面の導関数を用いて繋ぎ合わせて、ターゲットからの波面を再構成する工程と、から成るターゲットからの波面の再構成方法。

IPC (5件)：

G01N 21/956 ( 200 6.01) ,  G01J 9/00 ( 200 6.01) ,  G01M 11/00 ( 200 6.01) ,  G01N 21/958 ( 200 6.01) ,  H01L 21/66 ( 200 6.01)

FI (6件)：

G01N 21/956 A ,  G01J 9/00 ,  G01M 11/00 M ,  G01M 11/00 T ,  G01N 21/958 ,  H01L 21/66 P

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特表平4-504762
  
• 特開平3-225259