特許

J-GLOBAL ID：201103074328668782

水晶振動子のベベル加工方法

発明者： 梅木 三十四
出願人/特許権者： 日本電波工業株式会社
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-090867
公開番号（公開出願番号）：特開2001-285000
特許番号：特許第3814458号
出願日： 2000年03月29日
公開日（公表日）： 2001年10月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ATカットからなる短冊状とした水晶片における厚み方向の両主面の外周を斜めに切除してなる水晶振動子のベベル加工方法において、前記水晶片を前記厚み方向に接合して一体化水晶体を形成し、前記一体化水晶体をエッチング液中に投入して前記一体化水晶体における接合面の外周を斜めに切除し、前記水晶片の外周に凹状となる傾斜面を形成したことを特徴とする水晶振動子のベベル加工方法。

IPC (4件)：

H03H 3/02 ( 200 6.01) ,  H01L 41/09 ( 200 6.01) ,  H01L 41/22 ( 200 6.01) ,  H01L 21/306 ( 200 6.01)

FI (4件)：

H03H 3/02 B ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/22 Z ,  H01L 21/306 D

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開平2-030207
  
• 特開昭55-153416
  

審査官引用 (4件)

• 特開平2-030207
  
• 特開平2-030207
  
• 特開昭55-153416
  
• 特開昭55-153416