被験体の厚さ測定方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：柳野隆生
公報種別：特許公告
出願番号（国際出願番号）：特願平1-118145
公開番号（公開出願番号）：特開平2-297007
出願日： 1989年05月11日
公開日（公表日）： 1990年12月07日
請求項（抜粋）：

【請求項1】厚さを測定しようとする被験体を突出した湾曲体表面に位置づけ、前記被験体における湾曲体と被験体との接触部に測定対象断面が観測可能となる性質を有する照明光を照射して、測定対象断面に発光現象又は散乱現象を発生させ、前記接触部における湾曲体の略接線方向から被験体を観測することにより、発光若しくは散乱状態の測定対象断面と非発光状態若しくは非散乱状態の周囲環境とのコントラストにより被験体と周囲との境界を特定し、湾曲体表面における接線よりも外方に位置する被験体の厚さを前記境界位置に基づいて測定してなる被験体の厚さ測定方法。

IPC (2件)：