特許
J-GLOBAL ID：201103074455594968
積層型圧電アクチュエータ
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-245348
公開番号（公開出願番号）：特開2001-077436
特許番号：特許第3688946号
出願日： 1999年08月31日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
請求項（抜粋）：
【請求項1】複数の圧電体層と複数の内部電極層とを交互に積層してなり、前記内部電極層が交互に第1内部電極層または第2内部電極層とされ、該第1内部電極層、第2内部電極層の端部がそれぞれ異なる側面に露出する多角柱状のアクチュエータ本体と、該アクチュエータ本体の第1または第2内部電極層の端部が露出した側面にそれぞれ形成された外部電極とを具備するとともに、前記アクチュエータ本体の側面に露出した第1または第2内部電極層の端部間に、該第1または第2内部電極層間に位置する第2または第1内部電極層の端部が底面に露出する凹溝を形成し、該凹溝に絶縁体を充填してなる積層型圧電アクチュエータにおいて、前記アクチュエータ本体が、四角柱の側面角部を面取りして形成された、他の側面よりも面積が狭い2つの外部電極形成用側面を有するとともに、前記凹溝が前記圧電体層の積層方向に平行な平坦状底面を有しており、該平坦状底面の積層方向における長さをL、前記内部電極層の厚みをt1、前記圧電体層の厚みをt2とした時、0.2≦(L-t1)/t2<1の関係を満足することを特徴とする積層型圧電アクチュエータ。
IPC (1件)：
FI (2件)：
H01L 41/08 S
, H01L 41/08 Q
