特許

J-GLOBAL ID：201103074472415350

光導波路、及び光導波路の製造方法

発明者： 岡山 秀彰
出願人/特許権者： 沖電気工業株式会社
代理人 (2件)： 伊藤 政幸 ,  磯野 道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-224549
公開番号（公開出願番号）：特開2011-075645
出願日： 2009年09月29日
公開日（公表日）： 2011年04月14日
要約：

【課題】光信号を用いたSi細線導波路から光ファイバなど光導波路外部との接続を行う場合において、光が伝送する径が異なるためにスポットサイズ変換器が必要であるが、光学的な結合効率が不充分で、かつ作製上のばらつきもあって製造が容易ではなかった。【解決手段】光導波路の端面とSi細線光導波路のテーパ構造領域の先端の間にクラッド層と同じ材料で、クラッド層より突出した構造の光結合ブロック領域とを備えた。また、テーパ構造領域を作製し、その形成されたテーパ構造領域を参照して、光結合ブロック領域を形成するマスクの位置合わせを行う。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

コア層とその周囲を覆うクラッド領域を有する光導波路において、 前記コア層の一端にコア幅が伝搬方向とともに狭く形成されたテーパ構造領域と、 前記光導波路の光入出射端面と前記テーパ構造領域の先端との間に前記クラッド領域よりも法線方向に突出した構造の光結合ブロック領域と、 を備えたことを特徴とする光導波路。

IPC (1件)：

G02B 6/122

FI (1件)：

G02B6/12 A

Fターム (14件)：

2H147AB24 ,  2H147BA05 ,  2H147BB02 ,  2H147BB04 ,  2H147BD09 ,  2H147CA28 ,  2H147CB01 ,  2H147EA13A ,  2H147EA13C ,  2H147EA14A ,  2H147EA14B ,  2H147EA14D ,  2H147FA03 ,  2H147FC03