原子線ホログラフィ用のホログラム板およびそれを用いた原子線ホログラフィによるパターン形成方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：机昌彦 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-213579
公開番号（公開出願番号）：特開2001-042757
特許番号：特許第3402273号
出願日： 1999年07月28日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】支持枠とメンブレンとから構成されて,コヒーレントな原子線を用いて行なわれる原子線ホログラフィ用のホログラム板において、元絵をフーリェ変換して得られる複素透過関数の実数部における第1のしきい値以上の正値を符号化(エンコード)してなる複数の第1の通過穴(ピクセル)と、該実数部における第2のしきい値以下の負値をエンコードしてなる複数の第2のピクセルとが、全ての該第1のピクセルを通過する原子線の線量と全ての該第2のピクセルを通過する原子線の線量とが概ね等しくなるように、前記メンブレンに設けられ、前記メンブレンは前記第1のピクセルを通過する原子線に対する前記第2のピクセルを通過する原子線の位相差がπとなる電界変調手段を有することを特徴とする原子線ホログラフィ用のホログラム板。

IPC (3件)：

G03H 5/00 , G03H 1/08 , G03H 1/22

FI (3件)：

G03H 5/00 , G03H 1/08 , G03H 1/22

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