特許
J-GLOBAL ID:201103074581620230

レーザ装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 大垣 孝
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-509126
特許番号:特許第4442791号
出願日: 2000年07月11日
請求項(抜粋):
【請求項1】 レーザ発振器と、前記レーザ発振器から出力されたパルス光の群速度分散を制御する群速度分散制御部と、前記群速度分散制御部から出力されたパルス光を伝送する伝送部とを有し、 前記レーザ発振器と、前記群速度分散制御部と、前記伝送部の少なくとも一部とを支持体に実装して同一筐体に収められており、 前記伝送部は、少なくともコリメータと光ファイバを構成要素として有しており、前記群速度分散制御部によって群速度分散が制御されたパルス光を伝送するためのものであり、 前記コリメータが、前記群速度分散制御部の光軸と調芯された状態で前記支持体上に固定されており、前記光ファイバの少なくとも一部が前記筐体の外部に導出されているレーザ装置において、 前記群速度分散制御部は、回折格子と第1反射体および第2反射体を具えており、前記回折格子は、前記レーザ発振器により供給されたパルス光の各波長成分を、波長に応じた方向へそれぞれ回折させるものであり、前記第1反射体は、前記回折格子を経て第1反射体に入射したパルス光を、該パルス光の入射方向に平行な方向へ反射させて前記回折格子へ戻すものであり、前記第2反射体は、前記第1反射体および回折格子を経て第2反射体に入射したパルス光を、該パルス光の入射方向に平行な方向へ反射させて前記回折格子へ戻すものであり、前記第1および第2反射体の各々が、互いに垂直な2つの反射面を有するプリズムであって、前記第1反射体としてのプリズムの2つの反射面の双方に垂直な面と、前記第2反射体としてのプリズムの2つの反射面の双方に垂直な面とが互いに垂直になるように前記第1反射体と前記第2反射体とを配置してあり、前記第1反射体と前記回折格子との間の距離が可変にできるように、前記第1反射体が、第1反射体へ前記回折格子からのパルス光が入射し、そのパルス光を全て、入射したパルス光と平行を保つ方向に向かい反射できるような移動を可能にする移動機構を具えていることを特徴とするレーザ装置。
IPC (5件):
H01S 3/10 ( 200 6.01) ,  G02B 26/00 ( 200 6.01) ,  G02B 27/42 ( 200 6.01) ,  G02F 1/11 ( 200 6.01) ,  H01S 3/098 ( 200 6.01)
FI (5件):
H01S 3/10 Z ,  G02B 26/00 ,  G02B 27/42 ,  G02F 1/11 505 ,  H01S 3/098
引用特許:
審査官引用 (7件)
  • 光パルス圧縮装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平4-264256   出願人:国際電信電話株式会社
  • レーザー処理装置および処理方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平4-328770   出願人:株式会社半導体エネルギー研究所
  • 特開昭57-192090
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引用文献:
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