変位検出装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鎌田久男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-343001
公開番号（公開出願番号）：特開2002-250638
特許番号：特許第4214693号
出願日： 2001年11月08日
公開日（公表日）： 2002年09月06日
請求項（抜粋）：

【請求項1】固定部材と、前記固定部材に対して相対的に変位可能に設けられた可動部材と、前記可動部材に固定され、前記可動部材と一体的に変位可能なスケール部材と、前記固定部材に支持されるとともに、前記スケール部材と接触し前記スケール部材の目盛を検出する検出部材と、前記検出部材を前記スケール部材に対して加圧する加圧部材と、を備える変位検出装置において、前記検出部材と前記スケール部材との相対的な変位方向をX軸とし、前記検出部における前記スケール部材の移動面に対して平行で、前記X軸に対して直交する方向をY軸とし、前記X軸及び前記Y軸に直交する方向をZ軸としたときに、前記検出部材の前記Z軸回りの回転方向の位置を規制する第1の規制部を前記検出部材、前記スケール部材、及び前記可動部材の少なくとも1つに設け、前記検出部材を前記固定部材に対して前記X軸方向に加圧する第2の加圧部材を備えたこと、を特徴とする変位検出装置。

IPC (3件)：

G01D 5/245 ( 200 6.01) , G01B 7/30 ( 200 6.01) , G02B 7/02 ( 200 6.01)

FI (5件)：

G01D 5/245 X , G01D 5/245 Y , G01B 7/30 , G02B 7/02 E , G02B 7/02 Z

引用特許：

審査官引用 (5件)

ロータリーエンコーダ
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-342565 出願人：光洋電子工業株式会社
回転センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-157534 出願人：ナイルス部品株式会社
特開平3-225224

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