特許
J-GLOBAL ID：201103075070785173
研削装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-163032
公開番号（公開出願番号）：特開2011-018802
出願日： 2009年07月09日
公開日（公表日）： 2011年01月27日
要約：
【課題】洗浄液の周囲への飛散を防止しつつ研削加工前のワークの被保持面を十分に洗浄すること。【解決手段】本発明のある実施の形態において、研削装置1は、位置決め手段9と搬入搬出位置に位置する保持手段6aとの間のワークの搬送経路途中に配設され、ワークが保持手段6aに搬送される前にこのワークの保持手段6aによって保持される被保持面を洗浄する事前洗浄手段12を備える。また、研削装置1は、ワークの搬送経路途中の事前洗浄手段12と位置決め手段9との間に配設され、事前洗浄手段12による洗浄時に発生する位置決め手段9側への洗浄液の飛散を防止する洗浄液飛散防止手段15を備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ワークの被保持面を保持する保持手段と、前記保持手段に保持された前記ワークを研削加工する研削手段と、前記ワークを位置決めする位置決め手段と、前記ワークを搬送面で保持しながら前記ワークを前記位置決め手段と前記保持手段との間で搬送する搬送手段とを備えた研削装置であって、
前記搬送手段の搬送経路途中に配設され、前記ワークが前記保持手段に搬送される前に前記ワークの前記被保持面を洗浄する事前洗浄手段と、
前記搬送手段の搬送経路途中の前記事前洗浄手段と前記位置決め手段との間に配設され、前記事前洗浄手段による洗浄時に発生する前記位置決め手段側への洗浄液の飛散を防止する洗浄液飛散防止手段と、
を備え、
前記事前洗浄手段は、
内部に洗浄液が貯留され、前記搬送手段の前記搬送面に保持された前記ワークを前記洗浄液に水没させる水槽と、
前記水槽内に配設され、前記ワークを前記水槽内の洗浄液に水没させた際に前記ワークの前記被保持面に接触するブラシと、
前記ブラシを前記被保持面に沿って回転させるブラシ回転駆動機構と、
を有し、
前記洗浄液飛散防止手段は、
前記洗浄液の飛散を遮断するシャッターと、
前記洗浄液の飛散を遮断する作用位置と前記搬送手段の通過を許容する非作用位置とに前記シャッターを変位させるシャッター駆動機構と、
前記非作用位置に変位した前記シャッターの前記搬送手段の通過近傍位置において、噴射口が前記搬送面に向かうように配されて配設されたノズルと、
前記搬送手段が前記保持手段に前記ワークを搬送した後、前記事前洗浄手段側から前記位置決め手段側へ移動する際に、前記噴射口から前記搬送面に向けて気体を噴射させる気体噴射機構と、
を有することを特徴とする研削装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/304 622Q
, B24B7/00 Z
3C043BA04
, 3C043BA09
, 3C043BA17
, 3C043CC04
, 3C043CC11
, 3C043DD06
, 3C043DD14
