特許
J-GLOBAL ID:201103075095715005
非線形素子、表示装置、および電子機器
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-238534
公開番号(公開出願番号):特開2011-119667
出願日: 2010年10月25日
公開日(公表日): 2011年06月16日
要約:
【課題】逆方向飽和電流の低い非線形素子(例えば、ダイオード)を提供する。【解決手段】例えば、基板上に設けられた第1の電極と、前記第1の電極上に接して設けられ、二次イオン質量分析法で検出される水素濃度が5×1019atoms/cm3以下である酸化物半導体膜と、前記酸化物半導体膜上に接して設けられた第2の電極と、前記第1の電極、前記酸化物半導体膜、及び前記第2の電極を覆うゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜に接して設けられ、前記第1の電極、前記酸化物半導体膜、及び前記第2の電極を介して対向する複数の第3の電極と、を有し、前記複数の第3の電極は、前記第1の電極または前記第2の電極と接続されている非線形素子を提供する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
基板上に設けられた第1の電極と、
前記第1の電極上に接して設けられ、二次イオン質量分析法で検出される水素濃度が5×1019atoms/cm3以下である酸化物半導体膜と、
前記酸化物半導体膜上に接して設けられた第2の電極と、
前記第1の電極、前記酸化物半導体膜、及び前記第2の電極を覆うゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜に接して設けられ、前記第1の電極、前記酸化物半導体膜、及び前記第2の電極を介して対向する複数の第3の電極と、を有し、
前記複数の第3の電極は、前記第1の電極または前記第2の電極と接続されていることを特徴とする非線形素子。
IPC (1件):
FI (6件):
H01L29/78 618B
, H01L29/78 626A
, H01L29/78 617K
, H01L29/78 617T
, H01L29/78 617L
, H01L29/78 623A
Fターム (68件):
5F110AA06
, 5F110AA07
, 5F110BB01
, 5F110CC09
, 5F110DD01
, 5F110DD02
, 5F110DD03
, 5F110DD04
, 5F110DD12
, 5F110DD13
, 5F110DD14
, 5F110DD15
, 5F110EE02
, 5F110EE03
, 5F110EE04
, 5F110EE14
, 5F110EE15
, 5F110EE24
, 5F110EE29
, 5F110EE30
, 5F110EE43
, 5F110EE44
, 5F110EE45
, 5F110FF01
, 5F110FF02
, 5F110FF03
, 5F110FF04
, 5F110FF09
, 5F110FF28
, 5F110FF30
, 5F110FF35
, 5F110FF36
, 5F110GG01
, 5F110GG14
, 5F110GG15
, 5F110GG19
, 5F110GG24
, 5F110GG25
, 5F110GG28
, 5F110GG29
, 5F110GG33
, 5F110GG34
, 5F110GG43
, 5F110GG57
, 5F110GG58
, 5F110HK02
, 5F110HK03
, 5F110HK04
, 5F110HK21
, 5F110HK22
, 5F110HK33
, 5F110HK34
, 5F110HM04
, 5F110HM12
, 5F110NN03
, 5F110NN22
, 5F110NN23
, 5F110NN24
, 5F110NN25
, 5F110NN27
, 5F110NN33
, 5F110NN34
, 5F110NN35
, 5F110NN36
, 5F110NN40
, 5F110NN71
, 5F110NN72
, 5F110QQ19
引用特許:
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