光シャッタ式露光装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：北村修一郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-306391
公開番号（公開出願番号）：特開2001-125207
特許番号：特許第3758071号
出願日： 1999年10月28日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
請求項（抜粋）：

【請求項1】露光用の光束を形成可能な光源と、指示された画像情報に基づいて感光材料を前記光束によって露光するための複数の光シャッタ素子と、前記光束を集光して前記光シャッタ素子に送るための集光手段と、前記光束の保有する光波長分布を調整するために前記光束内に配置可能な調光フィルタと、前記調光フィルタの前記光束内への進入量を変更するためのフィルタ駆動手段とが設けられている光シャッタ式露光装置であって、前記調光フィルタが、前記光束の進路上における前記集光手段よりも上流側の位置にて前記光束内に進入するように配置されている光シャッタ式露光装置。

IPC (3件)：