特許
J-GLOBAL ID：201103075326883046
剥離装置及び剥離方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-290676
公開番号（公開出願番号）：特開2011-131954
出願日： 2009年12月22日
公開日（公表日）： 2011年07月07日
要約：
【課題】ニードルで剥離のきっかけ部を形成する際に、吸着手段を介してセパレータを吸着し、その吸着を維持した状態で吸着手段を剥離方向に変位させて接着剤層から剥離すること。【解決手段】接着性シートSを基板13に貼付した状態で、セパレータ11を接着剤層12から剥離する剥離装置10であり、同装置は、基板13を支持するテーブル15と、セパレータ11を上面から突き刺すニードル16と、当該ニードル16を変位させて剥離きっかけ部11Aを形成させる支持手段18と、セパレータ11を吸着する吸着パッド35とを備えている。剥離きっかけ部11Aが形成される際には、吸着パッド35が吸着力をセパレータ11に付与し、剥離きっかけ部11Aを形成した状態で吸着パッド35を基板から離れる方向に回転させることでセパレータ11を剥離可能とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
一方の面がセパレータで被覆された接着剤層を有する接着性シートを被着体に貼付した状態で、前記セパレータを接着剤層から剥離する剥離装置であって、
前記被着体を支持するテーブルと、
前記セパレータの端部を上面から突き刺すニードルと、
前記セパレータに剥離きっかけ部を形成するように前記ニードルを変位可能に支持する支持手段と、
前記セパレータを吸着する吸着手段とを含み、
前記ニードルで剥離きっかけ部を形成する際に、前記吸着手段で吸着力をセパレータに付与し、剥離きっかけ部が形成されたときに前記吸着手段と被着体とを相対的に離間させて前記セパレータを剥離可能としたことを特徴とする剥離装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (2件)：
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