クラスタービーム発生装置、基板処理装置、クラスタービーム発生方法及び基板処理方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：伊東忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-120919
公開番号（公開出願番号）：特開2011-249544
出願日： 2010年05月26日
公開日（公表日）： 2011年12月08日
要約：

【課題】液体原料のクラスターと気体原料のクラスターの比率を容易に制御することのできるクラスタービーム合せい装置を提供する。【解決手段】クラスタービーム26を発生させるクラスタービーム発生装置10において、気体原料と液体原料とを混合する混合器40と、前記混合器40において混合された前記気体原料及び前記液体原料をクラスターとして供給するノズル21と、前記ノズル21の温度を調整する温度調整部23と、を有し、前記温度調整部23により、前記ノズルの温度を変化させることにより、前記クラスターにおける前記液体原料のクラスターと前記気体原料のクラスターとの比率を調整することを特徴とするクラスタービーム発生装置10を提供する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

クラスタービームを発生させるクラスタービーム発生装置において、気体原料と液体原料とを混合する混合器と、前記混合器において混合された前記気体原料及び前記液体原料をクラスタービームとして供給するノズルと、前記ノズルの温度を調整する温度調整部と、を有し、前記温度調整部により、前記ノズルの温度を変化させることにより、前記クラスタービームにおける前記液体原料のクラスターと前記気体原料のクラスターとの比率を調整することを特徴とするクラスタービーム発生装置。

IPC (1件)：

H01L 21/304

FI (2件)：

H01L21/304 645Z , H01L21/304 645C

Fターム (12件)：

5F157AA63 , 5F157AA64 , 5F157AA76 , 5F157BE12 , 5F157BE33 , 5F157BF22 , 5F157BG13 , 5F157BG14 , 5F157BG58 , 5F157BG72 , 5F157BG76 , 5F157DB46

引用特許：

出願人引用 (6件)

イオンビームによる表面改質方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-092499 出願人：誠南工業株式会社
ガス供給ノズル
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-224097 出願人：住友金属工業株式会社
特開昭63-038232

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