カセット搬送装置及びカセットの搬送方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：前田弘 , 竹内祐二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-092464
公開番号（公開出願番号）：特開2011-219246
出願日： 2010年04月13日
公開日（公表日）： 2011年11月04日
要約：

【課題】簡単な構成で、カセットの浮き沈みを防ぎながら、カセットの直進性を保つ。【解決手段】製造ラインL上の各ポジションにカセット2を搬送するカセット搬送装置1において、カセット2の進行方向に間隔をあけて複数の搬送用回転軸5を配置し、各搬送用回転軸5にカセット2の裏面側に当接する搬送用ローラー6を回転可能に配置する。各ポジションの手前における複数のアライメント用回転軸7,8,9に、軸方向外側が搬送用ローラー6よりも外径の大きいガイドローラー10,11,12を設ける。これらの対向するガイドローラー10,11,12の最大径部分間の間隔をガラス基板の進行方向に向かって徐々に狭くする(L1>L2>L3)。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

製造ライン上の各ポジションにカセットを搬送するカセット搬送装置において、上記カセットの進行方向に間隔をあけて配置された複数の回転軸と、上記各回転軸に回転可能に配置され、上記カセットの裏面側に当接する搬送用ローラーとを備え、上記各ポジションの手前における上記複数の回転軸には、該回転軸の軸方向外側に上記搬送用ローラーよりも外径の大きい部分を有するガイドローラーがそれぞれ設けられ、各回転軸の対向するガイドローラーの最大径部分間の間隔は、上記カセットの幅よりも大きく、進行方向に向かって徐々に狭くなっていることを特徴とするカセット搬送装置。

IPC (4件)：

B65G 39/18 , B65G 49/06 , H01L 21/677 , B65G 13/00

FI (4件)：

B65G39/18 , B65G49/06 Z , H01L21/68 A , B65G13/00 Z

Fターム (9件)：

3F033BB02 , 3F033BB14 , 3F033GA06 , 3F033GA09 , 3F033GD03 , 5F031CA05 , 5F031DA01 , 5F031FA03 , 5F031GA53

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