特許
J-GLOBAL ID：201103075896185580
グレートーンマスクにおけるグレートーン部の欠陥修正方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤村 康夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-301507
公開番号（公開出願番号）：特開2002-107913
特許番号：特許第3556591号
出願日： 2000年09月29日
公開日（公表日）： 2002年04月10日
請求項（抜粋）：
【請求項1】遮光部と、透過部と、グレートーンマスクを使用する露光機の解像限界以下の遮光パターンを形成した領域であってこの領域を透過する光の透過量を低減してフォトレジストの膜厚を選択的に変えることを目的とするグレートーン部とを有するグレートーンマスクにおけるグレートーン部の欠陥修正方法であって、欠陥部分の修正を、正常パターンと同じ形状に復元せずに、正常パターンと同等のグレートーン効果が得られるような修正パターンを形成することにより行うことを特徴とする欠陥修正方法。
IPC (1件)：
FI (2件)：
G03F 1/08 V
, G03F 1/08 W
