タ-ボ分子ポンプの磁気遮蔽構造

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本惠二
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-001125
特許番号：特許第3001006号
出願日： 1999年01月06日
請求項（抜粋）：

【請求項1】イオンビームを磁界によって偏向させる偏向マグネットを構成する真空容器に、当該真空容器内を真空排気するターボ分子ポンプを取り付けた装置において、前記ターボ分子ポンプの吸気口側の取付フランジと前記真空容器との間に、磁性体で形成された磁性体フランジを設けていることを特徴とするターボ分子ポンプの磁気遮蔽構造。

IPC (3件)：

H01J 37/18 , H01J 37/317 , H01J 49/24

FI (3件)：

H01J 37/18 , H01J 37/317 Z , H01J 49/24

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