特許
J-GLOBAL ID：201103076261633302

加振型接触検出プローブ

発明者：
岡本 清和

岡本 清和 について

, 
日高 和彦

日高 和彦 について


出願人/特許権者：
株式会社ミツトヨ

株式会社ミツトヨ について


代理人 (3件)： 木下 實三 ,  中山 寛二 ,  石崎 剛
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-354690
公開番号（公開出願番号）：特開2002-156219
特許番号：特許第3628956号
出願日： 2000年11月21日
公開日（公表日）： 2002年05月31日
請求項（抜粋）：
【請求項1】被検体と接触する接触部位を有しかつ軸状の形状を持ったスタイラスと、電気的交流エネルギの印加により前記スタイラスに弾性振動を励起させる加振素子と、前記接触部位の被検体との接触に応じて変化する前記振動の挙動を検出する検出素子とを有する加振型接触検出プローブにおいて、前記加振素子に前記電気的交流エネルギを印加する加振エネルギ伝達手段と、前記検出素子に接続された検出信号伝達手段と、互いに填め合わされるスタイラス支持体およびスタイラス組立と、填め合わされたスタイラス支持体およびスタイラス組立の外側に装着される外筒スリーブとを備え、前記加振エネルギ伝達手段は、加振エネルギ源に接続される1次側コイルを有する第1組1次側磁気回路と、前記加振素子に接続される2次側コイルを有する第1組2次側磁気回路とを含み、前記検出信号伝達手段は、前記検出素子に接続される1次側コイルを有する第2組1次側磁気回路と、検出信号を取り出すための2次側コイルを有する第2組2次側磁気回路とを含み、前記スタイラス、加振素子、検出素子、第1組2次側磁気回路および第2組1次側磁気回路は前記スタイラス組立にて一体化され、前記第1組1次側磁気回路および第2組2次側磁気回路は前記スタイラス支持体にて一体化され、前記スタイラス組立とスタイラス支持体とが填め合わされかつこれらの外側に外筒スリーブが装着された際、前記第1組の1次側磁気回路と2次側磁気回路間、並びに、前記第2組の1次側磁気回路と2次側磁気回路間それぞれの間で電磁的結合が成立し、かつ、前記スタイラス支持体に対する前記スタイラスの機械的相対位置が再現可能に構成され、前記填め合わせとその解除の際、前記スタイラス支持体側、および、前記スタイラス組立側の電気接続の無変更を特徴とする加振型接触検出プローブ。
IPC (2件)：
G01B 21/00 ,  G01B 7/00
FI (2件)：
G01B 21/00 P ,  G01B 7/00 U
引用特許：
審査官引用 (4件)
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