特許

J-GLOBAL ID：201103076344806462

高濃度オゾンガスの定圧供給方法

発明者： 小池 国彦 ,  研谷 昌一郎
出願人/特許権者： 岩谷産業株式会社 ,  岩谷瓦斯株式会社
代理人 (2件)： 鈴江 正二 ,  木村 俊之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-320271
公開番号（公開出願番号）：特開2002-128509
特許番号：特許第3806590号
出願日： 2000年10月20日
公開日（公表日）： 2002年05月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 冷凍機(20)で冷却されている吸着剤(1)に飽和吸着されているオゾンガスを取出すに当たり、オゾン発生器(6)で発生させたオゾンガスを冷凍機(20)で冷却されている吸着剤(1)に大気圧状態で飽和吸着させる吸着工程と、吸着剤(1)を収容している吸着筒(2)内を供給オゾンガスの分圧まで減圧排気する精製工程と、一定の冷却温度に維持されている吸着剤(1)を収容している吸着筒(2)が所定圧に達するまでオゾンガスを取り出し、吸着筒(2)の内圧が予め設定した下限圧力に達すると、吸着剤(1)の温度が下限圧力時でのラングミュアの吸着等温式に基づく吸着量に対応する前記吸着終了時の圧力となる温度に達するまで昇温する操作を繰り返すことにより一定範囲の圧力で高濃度オゾンを供給するように構成した高濃度オゾンガスの定圧供給方法。

IPC (2件)：

C01B 13/10 ( 200 6.01) ,  B01D 53/04 ( 200 6.01)

FI (2件)：

C01B 13/10 A ,  B01D 53/04 F

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭53-052287
  
• 特開昭58-213602