ガス分離ユニット及びその製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：太田明男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-241232
公開番号（公開出願番号）：特開2002-052325
特許番号：特許第4274678号
出願日： 2000年08月09日
公開日（公表日）： 2002年02月19日
請求項（抜粋）：

【請求項1】展張枠用の金属板の片面をスパッタエッチングにより活性化処理する工程と、ガス分離性を有する金属板の片面をスパッタエッチングにより活性化処理する工程と、前記活性化処理したそれぞれの面を合わせて冷間圧接しクラッド板を製造する工程と、前記クラッド板を圧延して薄膜化する工程と、前記薄膜化した展張枠用の金属板をエッチング処理して、エッチングされない部分を展張枠とし、エッチングされる部分を前記ガス分離性を有する金属板の面を露出する開口部を形成する工程と、前記ガス分離性を有する金属板の他の面に多数の孔が形成された金属支持体を積層する工程と、を有することを特徴とするガス分離ユニットの製造方法。

IPC (4件)：

B01D 71/02 ( 200 6.01) , B01D 53/22 ( 200 6.01) , B01D 69/06 ( 200 6.01) , C22C 5/04 ( 200 6.01)

FI (4件)：

B01D 71/02 500 , B01D 53/22 , B01D 69/06 , C22C 5/04

引用特許：

審査官引用 (5件)

水素分離膜ユニット
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-212596 出願人：三菱重工業株式会社
水素分離膜およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-292471 出願人：三菱化工機株式会社
高性能水素分離膜
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-274065 出願人：三菱重工業株式会社

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