特許
J-GLOBAL ID：201103076427016170
透明基板検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 浩三
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-271765
公開番号（公開出願番号）：特開2002-082068
特許番号：特許第4175766号
出願日： 2000年09月07日
公開日（公表日）： 2002年03月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 光源から出射された光ビームを複数のレンズ手段を用いて傷検出用の細長い楕円形状の照明ビームとして被検査試料に照射する照明手段と、
前記被検査試料に照射された前記照明ビームの散乱光又は反射光を検出レンズを用いて結像し、その像を受光素子手段で検出する結像手段とを備えた透明基板検査装置において、
前記照明手段は、2個の光源から出射される光ビームをそれぞれ前記楕円形状の長径方向に引き伸ばし、短径方向に集光するように構成された第1及び第2の引き伸ばしレンズ手段と、
前記第1及び第2の引き伸ばしレンズ手段を通過した光ビームをそれぞれ分割する第1及び第2の分割手段と、
前記第1及び第2の分割手段によって分割された4本の光ビームを前記被検査試料上で前記楕円形状の照明ビームとし、前記検出レンズの瞳に向かう収束光となるように集光する第1及び第2の集光レンズ手段と、
前記第1及び第2の集光レンズ手段を通過した前記4本の光ビームを前記被検査試料上の所定位置にそれぞれ照射させる第1から第4までの反射鏡手段とを含み、前記被検査試料上の前記照射ビームの長手方向に対して、前記被検査試料上の前記照射ビームの中央付近を中心として前記被検査試料上でそれぞれ異なる角度で交差する少なくとも4方向から前記照明ビームを照射するように構成されていることを特徴とする透明基板検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/958 ( 200 6.01)
, G02F 1/13 ( 200 6.01)
, G02F 1/1333 ( 200 6.01)
G01N 21/958
, G02F 1/13 101
, G02F 1/133 500
