特許
J-GLOBAL ID：201103076586898272
液体材料気化供給装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
藤本 英夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-082065
公開番号（公開出願番号）：特開平2-261530
特許番号：特許第2814381号
出願日： 1989年04月01日
公開日（公表日）： 1990年10月24日
請求項（抜粋）：
【請求項1】恒温槽内に、液体材料を収容しこれを気化させる液体材料タンクと、この液体材料タンクからの気化ガスの流量を制御するマスフローコントローラとを設けた液体材料気化供給装置において、前記液体材料タンクに加熱手段を設けてこの加熱手段によって前記液体材料タンクを直接加熱し得るように構成するとともに、前記マスフローコントローラを介して前記気化ガスを下流側に送出するとき、前記加熱手段をオフするとともに、前記恒温槽に設けた加熱手段によって恒温槽内の温度が所定値になるように温度調節するようにしたことを特徴とする液体材料気化供給装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B01J 7/00 Z
, C23C 16/44 C
