誘導結合プラズマ質量分析装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：加藤公久
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-120934
公開番号（公開出願番号）：特開2001-307674
特許番号：特許第4417524号
出願日： 2000年04月21日
公開日（公表日）： 2001年11月02日
請求項（抜粋）：

【請求項1】誘導結合プラズマによってイオン化された元素を測定質量数毎に分けるためのマスフィルタの入側に、高周波電圧が印加されるプレフィルタが設けられた誘導結合プラズマ質量分析装置において、前記プレフィルタに印加する高周波電圧を、マスフィルタに印加する高周波電圧より低下させると共に、該プレフィルタの内接円の径を、マスフィルタの内接円の径より小さくしたことを特徴とする誘導結合プラズマ質量分析装置。

IPC (2件)：