振動ミラー素子

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：宮園博一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-296841
公開番号（公開出願番号）：特開2011-137911
出願日： 2009年12月28日
公開日（公表日）： 2011年07月14日
要約：

【課題】ミラー部において光を精度よく反射させることが可能な振動ミラー素子を提供する。【解決手段】この振動ミラー素子100は、Y1側に形成された端部31aと、Y2側に形成された端部31bと、端部31b側に形成された接続部31cとを含み、Y方向に沿って直線状に延びるとともに、片持ち梁状の駆動部31と、駆動部31の接続部31cと接続され、駆動部31の駆動時に接続部31cと略同じ傾斜になるように構成されたミラー支持部32と、ミラー支持部32により接続部31cにおける傾斜と略同じ傾斜になるように支持されることによって、X方向に延びる回動中心R2回りに回動されるX方向光走査部10とを備え、回動中心R2は、駆動部31の非駆動状態において駆動部31の端部31aと接続部31cとを結ぶY方向に延びる直線(接線C1およびD1)の略中央R4を通る位置に配置されている。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

第1方向の一方側に形成された固定端と、前記第1方向の他方側に形成された自由端と、前記自由端側に形成された接続部とを含み、前記第1方向に沿って直線状に延びるとともに、変形可能な片持ち梁状の第1駆動部と、前記第1駆動部の接続部と接続され、前記第1駆動部の駆動時に、前記接続部における傾斜と略同じ傾斜になるように構成されたミラー支持部と、前記ミラー支持部により前記接続部における前記傾斜と略同じ傾斜になるように支持されることによって、前記第1方向と直交する第2方向に延びる第1回動中心回りに回動されるミラー部とを備え、前記第1回動中心は、前記第1駆動部の非駆動状態において、前記第1駆動部の前記固定端と前記接続部とを結ぶ前記第1方向に延びる直線の略中央を通る位置に配置されている、振動ミラー素子。

IPC (5件)：

G02B 26/10 , G02B 26/08 , B81B 3/00 , H04N 1/113 , G02B 5/08

FI (6件)：

G02B26/10 C , G02B26/08 E , B81B3/00 , H04N1/04 104Z , G02B5/08 Z , G02B26/10 104Z

Fターム (41件)：

2H042DA02 , 2H042DA03 , 2H042DA04 , 2H042DA05 , 2H042DA07 , 2H042DA12 , 2H042DB07 , 2H042DC02 , 2H042DD04 , 2H042DE04 , 2H045AB06 , 2H045AB13 , 2H045AB38 , 2H045AB73 , 2H045AB81 , 2H141MA12 , 2H141MB24 , 2H141MC06 , 2H141MC09 , 2H141MD13 , 2H141MD16 , 2H141MD20 , 2H141MD23 , 2H141MF05 , 2H141MG04 , 2H141MZ03 , 2H141MZ06 , 2H141MZ16 , 2H141MZ19 , 2H141MZ26 , 3C081AA01 , 3C081BA28 , 3C081BA44 , 3C081BA46 , 3C081BA47 , 3C081BA55 , 3C081EA08 , 5C072AA03 , 5C072BA04 , 5C072HA14 , 5C072HB15

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