特許
J-GLOBAL ID:201103076931738712
超音波振動子及び超音波処理装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
綿貫 隆夫
, 堀米 和春
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-255006
公開番号(公開出願番号):特開2002-066455
特許番号:特許第4497679号
出願日: 2000年08月25日
公開日(公表日): 2002年03月05日
請求項(抜粋):
【請求項1】密閉された状態で外周面に加えられる圧力に対して可及的に変形を少なくし得る耐圧容器の内壁面に、振動素子が装着されて成る超音波振動子であって、
該耐圧容器の振動素子が装着された部分が、前記耐圧容器の外方に突出され且つ外壁面及び内壁面が共に曲面状に形成された突出部であり、
前記突出部の壁部が、前記振動素子の超音波振動によって発振され得るように、前記耐圧容器を形成する他の部分の壁部よりも薄く形成されていることを特徴とする超音波振動子。
IPC (5件):
B06B 1/02 ( 200 6.01)
, B06B 1/06 ( 200 6.01)
, B06B 3/04 ( 200 6.01)
, B08B 3/12 ( 200 6.01)
, H01L 41/09 ( 200 6.01)
FI (6件):
B06B 1/02 K
, B06B 1/06 Z
, B06B 3/04
, B08B 3/12 Z
, H01L 41/08 U
, H01L 41/08 J
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